荷兰ISTEQ公司TEUS系列EUV光源
产品介绍：
ISTEQ公司开发了一种基于激光产生等离子体（LPP）的EUV光源。该光源具有极高的亮度和极高的稳定性。它采用可自刷新的材料，无需中断和更换燃料盒，因此持续运行时间极长。
ISTEQ公司为LPP光源开发的燃料是针对特定应用的光谱范围而设计的。然而，对于掩模检查的应用，公司开发了一种高频锡旋转靶，已在全球范围内获得专利。
产品特点：
·高亮度以及出色的稳定性
·*少的碎片
·极高的正常运行时间
·高占空比和交钥匙操作
·用户友好的自动化协议，确保系统平稳运行，没有中断的风险。
产品应用：
·掩模和表面检查：
·图案掩模检测 (PMI)
·区域掩模检测 (AIMS)
·掩模空白检测 (MBI)
·EUV 扫描仪检
·材料科学
·晶圆检查
TEUS 系列激光等离子体光源
型号参数：
| 型号 |
TEUS S-100 |
TEUS S-200 |
TEUS S-400 |
| 激光平均功率W |
100 |
200 |
400 |
| 脉冲重频 kHz |
25或70 |
50或135（可调） |
100或200（可调） |
| EUV功率立体角 sr |
0.05 |
| 等离子体尺寸 μm |
≤ 60或 ≤ 40 |
≤ 60或 ≤ 45 |
| 带内辐射转换效率(13.5 nm±1%) |
2 % @2π·sr or 1.6% @2π·sr |
| 碎片处理系统后角内光通量mW |
11 或 9 |
22 或 18 |
44 或 40 |
| 碎片处理系统后光谱亮度W/mm2·sr |
≥ 80或 ≥ 140 |
≥ 160或 ≥ 280 |
≥ 310或 ≥ 500 |
| 等离子体稳定性 |
3% rms |
| 在24/7运行状态下，在不使用特殊膜过滤器情况下，收集器寿命下降10% |
不少于8个月 |
不少于4个月 |
不少于2个月 |
| 在24/7运行状态下，使用特殊膜过滤器情况下，收集器寿命下降10% |
不少于18个月 |
不少于9个月 |
不少于4个月 |
| 维护时间间隔 |
4 个月 - 1 天 |
3个月 - 2天 |
2个月 - 1天 |
| 24/7 运行模式下的正常运行时间*** |
4个月 |
3个月 |
1个月 |
| 电源 |
5 kW |
8.5 kW |
10.5 kW |
| 尺寸（长×宽×高）mm |
1500×1000×1200 |
| 重量，包括激光组件 kg |
770 |
| 房间洁净度等级 |
ISO 7 |
| 水流量 |
10升/分钟 |
15升/分钟 |
25升/分钟 |
